1963年，美國潔凈室標準FED-STD-209中，按每立方英尺中≥0.5MM粉塵數量的zui高允許濃度，將潔凈室分成若干等級，如100級、10,000級、100,000級。世界上許多國家都加以效仿。
1999年，標準化組織ISO頒布了一項標準《ISO14644-1 潔凈室與受控潔凈環境》*部分：空氣潔凈度分級。標準中采用了新的分級。
2001年，中國新頒布的潔凈室設計標準中采用了ISO分級。
電子工業和制藥業是與潔凈室關系zui密切的兩個行業。ISO標準一出現，電子行業立刻改用ISO標準定義的潔凈室級別，而制藥業目前仍沿用老的潔凈級別規定。中國1998年版GMP規范中比前一版增加了個30萬級。